| Z轴:无铁芯电机 | R轴:微小型DD电机 |
| ● 无电磁吸引力、无齿槽力 | ● 一体式长轴设计,无需转接延长轴 |
| ● 高峰值推力和持续推力 | ● 空心轴,实现密封气路 |
| ● 拼接定子,电机不变可实现Z轴行程加长 | ● 径向跳动<3μm,个别高精度可实现<1μm |
● 业界最高力控精度:10g±0.1g
● 业界最低整定时间:≤5ms
紧凑型Z拾取机构;Z轴定位精度2μm、重复定位精度±0.5μm;半导体芯片的(开环力控)拾取和贴装、键盘按压测试、触控面板测试、开关检测、液体配剂量/注入、微组装(摄像头模组等微小零件、寿命/疲劳性测试;可根据客户需求定制。
紧凑型Z+R拾取机构;Z轴定位精度2μm、重复定位精度±0.5μm;旋转轴定位精度±36arcsec,重复定位精度±6arcsec;半导体芯片的(开环力控)拾取和贴装、键盘按压测试、触控面板测试、开关检测、液体配剂量/注入、微组装(摄像头模组等微小零件、寿命/疲劳性测试;可根据客户需求定制。
● 半导体芯片拾取和贴装:高精度力控保障芯片无损拾放
● 键盘按压测试、触控面板测试、开关检测:精准力控确保测试一致性
● 液体配给/注入:微量液体控制,力控精度保障剂量准确性
● 电子微组装:摄像头模组、激光雷达、光学器件、晶振等微小零件的精密组装
● 五金贴合:高刚性、高精度贴合工艺