高精度XYZ大理石平台-直驱运动系统解行业应用解决方案

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行业应用 > 显示 > 高精度XYZ大理石平台

方案介绍

德瑞精工高精度XYZ大理石平台产品系列是面向面板、半导体开发的高精度平台系列，可满足高加速、高精度、的检测、切割等工况场景，电机采用德瑞无铁芯系列电机，同时具备超好的稳定性、精度，广泛应用面板、半导体的化合物量测、划片、精密加工、探针台等工艺。

机械参数

技术参数

单位

X轴
Y轴
Z轴

负载

kg

15
15+X
10
行程

mm

450
400
50
重复精度

μm

0.5
0.5
0.5
定位精度

μm

1
1
1
水平直线度

μm

2
2
2
垂直垂直度

μm

±2
2
2
俯仰偏摆

arcsec

±2.5
±2.5
/
正交性

μm

4
4
/
Z轴垂直度

μm

/
/
3
动子数量

pcs

1
1
/
模组安装方式

水平/侧装
水平/侧装

水平/侧装
水平/侧装

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